浙江海康驰拓科技有限公司高端储存芯片研发及中试生产线项目剧毒化学品使用条件专项安全评价报告 发布日期：2018/10/25 0:25:19
安全评价报告公开信息表
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项目所属行业 |
电子产品制造 |
项目编号 |
193-1-2017 |
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项目名称 |
浙江海康驰拓科技有限公司高端储存芯片研发及中试生产线项目剧毒化学品使用条件专项安全评价报告 |
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项 目 简 介 |
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公司采用干法金属刻蚀设备，利用氯气清除硅片表面的杂质。涉及的建筑物：科研楼（与氯相关的场所）。本次评价范围涉及的场所是有毒气体间（与氯相关的）及干法金属刻蚀设备使用现场。 项目已基本建成，于2017年10月31日对防爆气柜至VMC气柜内管路系统进行了氦侧漏测试，于2017年10月22日防爆气柜至VMC气柜内管路系统进行了压力测试，于2017年11月8日对防爆气柜内至VMC气柜管路系统进行了粉尘分析测试及水分和微氧分析测试，于2018年3月14日对干法金属刻蚀设备管路系统进行了压力侧漏试验。以上测试均合格。 现拟进行试生产，试生产需要购买剧毒化学品——液氯。我公司受浙江海康驰拓科技有限公司的委托，对其液氯储存及使用条件进行安全评价。
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项目组长 |
刘文晔 |
报告编制人：刘文晔 |
报告审核人： 蔡华伟 |
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技术负责人 |
张群杰 |
过程控制负责人 |
杨晓霞 |
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项目组成员 |
姓 名 |
职 称 |
执 业 资 格 |
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姚文 |
三级安全评价师 |
三级安全评价师 |
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周东 |
一级安全评价师 |
一级安全评价师 |
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技术专家 |
姓 名 |
职 称 |
专 业 年 限 |
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参加安全评价工作人员 |
到现场时间 |
参加人员姓名 |
主 要 任 务 |
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2017.12.28 |
周东、姚文、刘文晔 |
现场勘查 |
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2018.6.24 |
姚文、刘文晔 |
现场核实 |
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报告提交 时间 |
2018.7.10 |
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其他需公开的内容 |
无 |
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注：自